दोन्हीव्हॅक्यूम पंप आणि कॉम्प्रेसरगॅसवर प्रक्रिया करण्यासाठी उपकरणे आहेत, परंतु त्यांचे कार्यरत तत्त्वे आणि अनुप्रयोगाची व्याप्ती भिन्न आहे.
व्हॅक्यूम पंपचे मुख्य कार्य म्हणजे पूर्वनिर्धारित व्हॅक्यूम डिग्री मिळविण्यासाठी कंटेनरमधील दबाव कमी करण्यासाठी प्रतिक्रिया चेंबरमधून गॅस काढून टाकणे. व्हॅक्यूम स्टेट तयार करण्यासाठी सक्शन आणि एक्झॉस्ट यंत्रणेद्वारे गॅस जागेवरून काढला जातो. व्हॅक्यूम पंप सामान्यत: प्रयोगशाळा, उत्पादन आणि उत्पादन क्षेत्रात वापरले जातात. वेफर फॅबमध्ये, एचिंग उपकरणे, जमा उपकरणे, ईयूव्ही लिथोग्राफी उपकरणे, आयन रोपण उपकरणे, शोध आणि वैशिष्ट्यीकरण उपकरणे इ. सर्वांना रिक्त करणे आवश्यक आहे.
कॉम्प्रेसरचे कार्य म्हणजे गॅस इनहेल करणे आणि त्यास संकुचित करणे, गॅसचा दबाव वाढविणे, गॅसला लहान प्रमाणात संकुचित करणे आणि गॅसची घनता आणि दाब वाढविणे. एक्झॉस्ट वाल्व्हद्वारे गॅस संकुचित करणे आणि नंतर संकुचित गॅस गॅस टँक किंवा इतर उपकरणांमध्ये ठेवणे हे त्याचे कार्यरत तत्व आहे. कॉम्प्रेसर सामान्यत: प्रक्रिया आणि उत्पादन क्षेत्रात वापरले जातात. आम्ही बर्‍याचदा बोलतो सीडीए गॅस कॉम्प्रेसरद्वारे प्रदान केला जातो. सीडीएचा वापर विविध ऑटोमेशन उपकरणे आणि वाल्व्ह नियंत्रित करण्यासाठी केला जातो. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगसाठी, सीडीए खूप शुद्ध आणि कोरडे असणे आवश्यक आहे. वेफरला दूषित होणार नाही हे सुनिश्चित करण्यासाठी कॉम्प्रेसरद्वारे हवेचे उत्पादन तेल, आर्द्रता आणि इतर कण काढून टाकण्यासाठी अत्याधुनिक गाळण्याची प्रक्रिया किंवा पध्दतीद्वारे जाणे आवश्यक आहे.
च्या श्रेणी कोणत्या आहेतव्हॅक्यूम पंप आणि कॉम्प्रेसर?
सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये, कोरडे पंप आणि आण्विक पंप सामान्यतः वापरले जातात. कोरड्या पंप म्हणजे व्हॅक्यूम पंपचा संदर्भ असतो जो तेलाच्या वाफेच्या दूषिततेची समस्या टाळण्यासाठी सीलिंग किंवा कूलिंग माध्यम म्हणून कोणताही द्रव वापरत नाही. हे सामान्यत: सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या खडबडीत व्हॅक्यूम काढण्यासाठी वापरले जाते. आण्विक पंप अत्यंत उच्च व्हॅक्यूम पातळी प्राप्त करू शकतात. कोरड्या पंप आणि आण्विक पंप वेगवेगळ्या व्हॅक्यूम पातळीच्या गरजा भागविण्यासाठी अर्धसंवाहक उपकरणांमध्ये एकत्रितपणे वापरले जातात.
कॉम्प्रेसर पिस्टन, स्क्रू, सेंट्रीफ्यूगल, रोटरी वेन एअर कॉम्प्रेसर इ. मध्ये विभागले जाऊ शकतात.
व्हॅक्यूम पंप आणि कॉम्प्रेसरच्या वेगवेगळ्या डिझाईन्स आणि कार्यरत तत्त्वांमुळे, व्हॅक्यूम पंप सहसा कॉम्प्रेसर पुनर्स्थित करू शकत नाहीत. जरी व्हॅक्यूम पंप वायूंचा दबाव आणि घनता कमी करू शकतात, परंतु ते वायूंना लहान प्रमाणात आणि उच्च दबावांमध्ये संकलित करू शकत नाहीत. याव्यतिरिक्त, व्हॅक्यूम पंपांच्या मर्यादित कामगिरी आणि कार्यरत वैशिष्ट्यांमुळे, ते कमी-घनतेच्या वायू आणि कमी-दाब वातावरण हाताळण्यासाठी योग्य आहेत.
म्हणूनच, जर गॅसला लहान व्हॉल्यूम आणि उच्च दाबात संकुचित करणे आवश्यक असेल तर कॉम्प्रेसर वापरला पाहिजे. उलटपक्षी, गॅस काढण्याची आवश्यकता असल्यास आणि व्हॅक्यूम स्टेट तयार झाल्यास, व्हॅक्यूम पंप वापरला जावा.
जरी दोन्हीव्हॅक्यूम पंप आणि कॉम्प्रेसरगॅसवर प्रक्रिया करण्यासाठी वापरली जाणारी उपकरणे आहेत, डिझाइन आणि कार्यरत तत्त्वामध्ये चांगले फरक आहेत. जरी व्हॅक्यूम पंप गॅसचा दबाव आणि घनता कमी करू शकतो, परंतु तो कॉम्प्रेसरची जागा घेऊ शकत नाही, विशेषत: जेव्हा गॅसला लहान प्रमाणात आणि उच्च दाबात संकुचित करणे आवश्यक असते.
